製造
小型・低消費電力かつ高感度の赤外線イメージセンサを社会インフラに
人やモノからの赤外線を電気信号に変換して情報を得る。暗闇でも機能するイメージセンサは自動車のナイトビジョン、航空機の航行支援システム、防犯カメラなどで活用されていて、極低温で動作する「冷却型」と常温付近で動作する「非冷却型」とがある。
前者は高感度で応答性に優れるけれど、冷却器を要するため大型・高価で電力消費が大きく、冷却器の定期メンテナンスも必要となる。一方後者は、冷却器不要で小型・安価・低消費電力といった特長を有するが、冷却型に比べて感度や解像度が劣っていたという。
NECは、独自開発した抽出技術による高純度半導体型のカーボンナノチューブ（CNT）を赤外線の検出部に適用した「高感度非冷却型赤外線イメージセンサ」の開発に世界で初めて成功した。単層CNTに含まれる、温度に対して抵抗値が敏感に反応する――常温付近で抵抗温度係数（TCR）が大きくなる――半導体型CNT薄膜を用いた同センサをものにした。同社は1991年にCNTを世界で初めて発見した。
それ以来、ナノテクノロジーを牽引する多様な研究開発を進めてきた。今回新開発したイメージセンサはそれらの実績・ノウハウにより実現したもので、酸化バナジウムやアモルファスシリコンを用いたセンサの3倍以上の高感度化を達成。従来の「非冷却型」に採用している熱分離構造と、同構造用のMEMS素子化技術、印刷トランジスタ等で培ってきたCNTの印刷製造技術を融合して、新たなデバイス構造を具現化――
それらをアレイ化した640×480画素の高精細な非冷却型赤外線イメージセンサの動作に成功した（開発ストーリー）。同センサの'25年実用化をめざす。今般の成果の一部は産総研との共同研究あるいは防衛装備庁・安全保障技術研究推進制度の支援によるものだという。同社は当該イメージセンサを一層高度化し、多彩な社会貢献に資する製品・サービスの研究開発を進めていく考えだ。