製造
1000兆分の1秒パルスレーザーにて超スマート社会を拓く
少子高齢化などを背景にした労働力不足と、技術伝承の途絶が大きな問題になりつつある。日本の生産現場ではいま、デジタル制御の容易さなどを拠り所にして、紫外線から遠赤外線領域のさまざまな波長のレーザーを用いた材料加工が行われている。
人材・技術不足を補い、第5期科学技術基本計画に描かれた超スマート社会（Society 5.0）を支える重要技術の一つとして、レーザーの短波長化――波長120nm以下の極端紫外線領域にても、有用性の検証が進められている。極端紫外線レーザーによる材料加工の特性は、最も基礎的な事項である材料の損傷閾値について近年評価が開始されたにすぎない。 また、小型電子デバイス用の次世代電子回路基板として注目されているガラスへの、高密度な微細穴開け加工はニーズが高いものの、従来技術では、熱溶解によりレーザー照射部と非照射部との境界に隆起構造「リム」が生成するなど、加工品質上の課題があったという。 産総...